赵阳带领技术人员,把光刻机的关键部件如减速电机、丝杠传动、线性导轨等都加工出来。各个零部件经过精心制造,严格按照设计图纸要求完成,精度和公差都控制得非常好。
光刻机的组装工作也在紧锣密鼓地进行。赵阳亲自把各个部件安装调试好,丝杠传动系统运作精准,线性电机的定位重复性高达±0.01mm。
他还配置了一个超精密的石英光学平台,满意地点点头,光刻机的制造进展顺利。
与此同时,赵阳还没有忘记另一个重要的项目——提炼硅片。
为此,他自己设计并制作了一个小型的提炼硅设备。
首先,他用红砖和灰泥砌成一个圆鼓形的反应炉,内径约40厘米,高70厘米。墙体厚达15厘米,以确保足够的绝热性。
然后,在反应炉顶部开了一个小口,用于向反应器内加入硅原料。
接着,在反应炉底部焊接好电极,通过通电来加热反应器内部。为防止氧化,他还在电极之外包覆了一层石墨
加热系统完成后,赵阳开始制作控温装置。他先找来一个感温电阻,通过它来检测反应器内部的温度。再利用一个简易的继电器,根据温度反馈来控制加热电流,以稳定保持在1500摄氏度左右。
温控系统也就绪后,赵阳试着投入了一段高纯度的多晶硅原料,通电加热至熔点,成功熔融成硅液。
然后他迅速打开顶端小口,把熔融的硅液灌注到一个铜模内,在其中快速凝固形成硅锭。
最后,他用自制的金刚石切割机,把硅锭切割成硅片。虽然切割面积不大,但这批硅片的质量和纯度已初步达标。
赵阳把凝固的硅锭拿在手里查看,脸上露出欣慰的笑容。有了自己提炼的硅片,芯片的制造就指日可待了。
……
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