他首先指向了“光学微细图形曝光技术”:“这项由长光所研发的技术,能在玻璃无器件上制造微米级图形,那么,他肯定也能在其他地方,刻蚀出复杂的电路图案!我们可以设想,通过不断提升刻蚀精度,我们就能够将设计好的电路图,刻蚀到半导材料上,定义出晶体管的源、漏、栅以及复杂的互连线。”
他顿了顿:“因此,我们认为,这就是集成电路图形化的基石!”
接着,他提到了“高纯度单晶硅区域熔炼技术”:“半导体所的这项技术,旨在获得纯度极高的单晶硅。请大家注意,硅,这种地球上储量丰富的元素,当其纯度达到极高水平并形成完美晶体时,是制造晶体管和集成电路的理想材料!”
他定性道:“它是承载集成电路的最理想基底,有了它,集成电路的研究就不再是无本之木。”
然后,他解释了“真空薄膜化学气相沉积技术”:“工业学院与真空电子所研究的这项技术,在真空环境下于基片表面沉积特定薄膜。我们认为,它可以用来在硅片上生长出优质的绝缘层,也能沉积出作为晶体管栅极的多晶硅,更能在层层电路之间沉积金属来实现互连。”
“这项技术,正是构建集成电路立体大厦,不可或缺的增材工艺!”
最后,他点出了“超精密电子束扫描定位技术”:“我们清华电子系开展的这项研究,利用电子束进行纳米级定位与‘书写’。这不仅是制造高精度模版的利器,甚至可以直接用于书写最精细的电路图案,尤其是在光刻技术精度尚不足以满足要求的当下,电子束将是突破极限的关键手段!”
“它是我们迈向更高集成度的一柄‘雕刻刀’!”
吕辰的论述,将四项孤立的技术,与一个宏大的“集成电路”产业蓝图紧密地串联起来。
会场内寂静无声,所有人都被这番超越时代视野的论述所吸引、所震撼。
就连前排就坐的钱先生,也微微前倾身体,镜片后的目光闪烁着深思。
“同志们,”吕辰的声音带着一种信念,“这四项技术,单看或许‘无用’,或许‘超前’,但若能有机结合,系统性攻关,它们将共同构成集成电路产业的初始技术支柱!这绝非遥不可及的幻想,而是有清晰技术路径可以探索的未来!这关系到我们能否在未来,掌握核心技术,不再受制于人!这是工业化升级和科技进步的根基!”
他最后总结道:“因此,我强烈建议,在本次会议的备忘录中,应显着提升这四项技术的战略定位,明确其对于集成电路这一未来战略性产业的奠基性意义,并倡议依托百工联席会议建立的协作机制,立即启动跨单位、跨学科的联合预研!”
吕辰的发言完毕,会场在短暂的沉寂后,爆发出热烈的掌声。
这时,刘星海教授缓缓起身,走向发言席。
他与吕辰交换了一个眼神,眼神中充满了嘉许。
刘教授站在席前,气度沉稳,以一种纵观全局的视野,开始了论述。
“刚才吕辰同学的发言,非常精彩,也极具前瞻性。他为我们描绘了集成电路这一未来科技高地的战略意义。我想在此基础上,进一步强调一点:中国工业要实现真正的、可持续的、引领时代的发展,绕不过集成电路这一关!这绝不是可选项,而是我们必须占领的战略高地!”
他环视全场:“或许有人觉得这还很遥远。但我要告诉大家,国际上,特别是美国,已经有了集成电路的雏形,并投入巨资进行研发。他们正在做的事情,将决定未来几十年全球科技的格局!我们已经看到了苗头,听到了脚步声,难道还要等到别人把我们远远甩在身后,才来追赶吗?”
他援引了一些国内外期刊上零星的、却足以说明问题的研究动态,展示了国际上前沿的探索。
“我们是有基础的!”刘星海教授语气转为激昂,“这四项技术,就是我们的基础!它们分散在不同单位,看似弱小,但正如吕辰所论证的,它们指向的是同一个宏伟目标!而且,今天坐在这里的各位,都是在工业控制系统的研发中,积累了丰富的电子系统设计、集成和工程化经验。我们对工业需求的理解,对系统复杂性的把握,正是将实验室技术推向工程应用不可或缺的一环!”
他提出了一个掷地有声的建议:“因此,我正式提议,以此次会议为契机,以备忘录确立的协作框架为依托,立即启动一个国家级的研究计划!集中大家的优势力量,打破单位壁垒,分工协作,各展所长,形成合力,共同向集成电路这一战略高地进军!”
这个提议,如同在平静的湖面投入一颗巨石,激起了千层浪。
我支持刘教授的建议!”北大的魏知远教授第一个站起来响应,“集成电路的发展,离不开深厚的数理基础和理论模型支撑。我们北大理论中心愿意在此领域,与各兄弟单位通力合作,提供理论支持与算法研究!”
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