陈光远摸着下巴，沉思道：“这个思路……跳出了就设备论设备的圈子。有点像打仗前的侦察和推演。模型可能不准，模拟可能失真，但能给我们方向，减少盲目试错。尤其是那个‘看流动’的想法，很有意思。光学我们擅长，流体力学……所里也有相关专业的人，可以试试。”
“第二个思路，是关于标准化与模块化。”谢凯接过话头，他拿出几张草图，上面画着光刻机几个主要功能模块的分解图，以及设想中的接口定义。
“我们现在造的是原型机，一切以能跑通为首要目标。但未来要走向稳定生产和迭代升级，就必须考虑架构的可持续性。”他指着图纸说，“比如，能否定义一个照明模块接口，规定光强、均匀度、光谱的标准测试方法和连接方式？这样，未来光源升级了，可以相对独立地替换和验证。同样，物镜模块、工作台模块、控制柜……都尝试进行接口和性能的标准化定义。”
他拿出另一份清单：“还可以开发一套光刻工艺工具箱。不是实物工具箱，而是一套文件和技术规范。比如，一个常用图形库，每类图形都附带经过验证的、针对我们当前这套五微米工艺的推荐曝光参数范围。再比如，一份典型缺陷图谱及可能原因分析指南。让新来的工程师，不是从头摸索，而是站在一个基础平台上工作。”
上海机床厂的刘工立刻表示共鸣：“这个好！我们机床行业也在尝试搞部件标准化。如果光刻机的核心部件能有相对统一的接口和性能标准，我们加工起来目标更明确，也便于批量制备备件，不至于一台机器一个样，维护起来要命。”
激烈的思想碰撞持续了两天。
会议室的烟灰缸满了又清，清了又满；稿纸写满了一张又一张；暖水瓶来回打了好几次。
最终，所有的讨论、争执、建议和共识，都凝结成了一份沉甸甸的《“星河计划”光刻及关联技术关键问题与需求清单》。
这份清单不再是泛泛而谈，而是分门别类，清晰地列出了：
光学系统：特定规格的定心磨边机需求、高精度干涉仪需求、像差在线检测方案设想……
精密机械：超平花岗岩平台加工精度指标、新型减振材料试验需求、工作台寿命测试方法与标准草案……
工艺材料：光刻胶性能标准化指标建议、涂胶显影设备原理样机设计需求、工艺窗口实验设计……
控制与检测：多路同步数据采集系统方案、快速线宽测量装置技术指标、缺陷自动识别算法预研方向……
系统与标准：“光刻模块接口标准”草案编制任务、“工艺工具箱”内容框架与分工……
前沿与模拟：光刻过程简化数学模型研究课题、流体/热力学模拟实验方案与设备需求……
每一个条目后面，都初步标注了负责或牵头单位、建议解决路径、以及期望的时间节点。
这份清单，将由宋颜教授带回北京，提交给“星河计划”领导小组，成为协调全国力量、下发攻关任务的直接依据。
临别前夜，陈光远在所里小食堂安排了一顿简单的送行饭。
依旧是朴素的饭菜，但气氛格外热烈。
大家以茶代酒，互道珍重。
“宋教授，小吕，小谢，你们这一趟，给我们带来了很多新想法啊。”陈光远感慨道，“不光是技术上的，更是一种做事的方法和思路。先瞄准能打到的目标，用数据说话，用系统思维解决问题，还要看得更远……这些，比单纯解决几个技术难题更重要。”
宋颜教授郑重道：“陈所长言重了。长光所的务实作风和攻坚精神，才是我们学习的榜样。这份清单是大家共同智慧的结晶，我们一定带回去，全力推动。明年四月，等着你们的好消息！”
“一定！”长光所的同志们异口同声，眼中充满了坚定的期待。
正说着道别的话，吕辰忽然开口：“宋教授，谢师兄，这两天我们反复讨论光刻机的振动、温漂和稳定性问题，其实都是设备‘健康状态’的监测与控制。这让我想到了咱们的‘电子耳朵’。”
他转向陈光远，解释道：“陈所长，我们研发了一套基于振动和声音的故障早期预警系统，对旋转机械特别有效。刚才听周工说油田的设备故障率高，维护全靠老师傅的经验……”
陈光远眼睛一亮：“我明白你的意思了！你们想去大庆看看？那边的钻机、柴油机、抽油机，全是铁疙瘩，坏了就影响产量。你们那‘电子耳朵’我知道，的确能派上用场，能解决大问题！”
宋颜教授沉吟片刻，看了眼吕辰和谢凯眼中跃跃欲试的光芒，点了点头：“也好。我们搞科研，最终就是要服务于国家工业。去亲眼看看国民经济一线最迫切的需求，对我们把握研发方向有百利而无一害。只是……时间要卡紧，不能耽误哈工大的正事。”
谢凯也点头支持：“是的，宋教授。我们的技术不能只待在实验室和轧钢厂。油田的环境更恶劣，需求更直接，是检验和提升电子耳朵的绝佳试金石。说不定，那里发现的问题，能反向推动我们传感器和算法的改进。”
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