“所以,我建议,”吕辰目光灼灼,“我们可以同步建立一个‘超净环境与精密涂布联合实验室’。由上海厂贡献现有的环境控制经验和涂布设备基础,‘星河计划’提供未来的洁净标准和检测方法,共同研究如何在现有工业条件下,逐步逼近甚至达到半导体制造需要的洁净水平。这个实验室,既可以服务于光刻胶研发,本身也是一个极具价值的共性技术平台。”
朱总工听得眼睛发亮。
他瞬间看到了这个提议的更多价值,提升厂里整体环境控制水平,培养一支懂得“超净”理念的技术队伍,甚至未来可以为其他精密工业提供洁净生产服务。
“好!太好了!”朱总工激动地站起来,“宋教授,吕辰同志,谢凯同志,你们这次来,真是给我们带来了全新的视野和巨大的机遇!我这就起草报告,向厂党委和市轻工局汇报!同时,我会通过私人渠道,联系中科院那边筹备组的负责人,先做个非正式沟通!”
合作意向,在坦诚而热烈的交流中迅速确立。
接下来吕辰三人留在感光厂,与朱总工、钱师傅以及厂里的技术骨干进行了多次深入讨论。
他们梳理了光刻胶研发可能面临的关键技术难点,感光剂体系选择、树脂成膜材料、添加剂配方、涂布工艺适配、分辨率测试方法、缺陷检测手段……
每一次讨论,都让双方对未来的挑战和合作路径更加清晰。
离开感光厂前,朱总工郑重地将三个工具包送给吕辰三人作纪念,里面是一个放大镜、几本硬壳笔记本、一盒绘图铅笔,几卷黑纸包着的未打孔宽幅胶片条,特别是一个封装好的分辨率测试标板,这是一片玻璃板,上面用厂里最精密的工艺蚀刻着不同线宽、间距和标准图案。
他又塞给宋教授一个小笔记本:“这里面是我整理的,关于感光材料研发的一些心得体会,还有国内几个相关单位的情况。或许对你们下一步的调研有用。”
“谢谢朱总工!”宋颜教授郑重收下,“我们回去后,会立即向刘星海教授和‘星河计划’领导小组汇报。期待很快能带着正式的合作协议再来上海。”
“一定!我们等你们的好消息!”
再次来到外滩,黄浦江的波涛在阳光下泛起金光,这座东方都市,正以自己的方式,默默积蓄着力量。
他们在这里找了个招待所住下,准备开启另外的考察。
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