“什么?偏了?!”
控制台前负责监控光路的小李喊破了音,嗓子里像是卡了一口砂纸。
这一声喊,惊得满屋子人齐齐往控制台涌去。
卢子真大步跨过去,直接挤到屏幕前。
单色显示器上,代表激光源的红点正以十分缓慢,却极为坚定的速度,一点点滑出代表物镜中心的十字靶心。
越偏越远,拉出一条刺眼的红线。
“安装出问题了?”张怀民急得手直哆嗦,“是不是隔振台没调平?还是导轨有灰?”
“绝不可能。”王厂长硬邦邦顶回去,“这是林总师亲自上螺丝复核的,扭力扳手测了一遍又一遍,出问题我把脑袋揪下来!”
“那它怎么自己跑了?”卢子真急声问道。
洁净室里气氛压抑到了极点。
大家熬了三天三夜,眼睛熬得通红,就盼着最后这一哆嗦。
这要是光路定不住,前面几个月的心血全白搭。
“都先别慌。”林振沉声开口。
他走上前,偏头看了看屏幕左下角实时跳动的数据流,伸手在键盘上敲了几下,调出内部温度传感器的监控曲线。
“不是安装问题,也不是隔振台失效。”林振正色道,指着那条缓缓爬升的温度曲线,“是热胀冷缩。”
热胀冷缩?
众人全愣住了。
这算什么高深莫测的技术难题?初中生都知道的常识。
林振看着众人,耐心解释:“光源系统开机,高压汞灯开始满负荷运转,产热量极大。现在的控温系统虽然能保证环境温度稳定,可机器内部核心区域的温度不可避免会小幅度攀升。”
“这种微小的温差,让金属机架和物镜支架产生了热膨胀。”林振捻了捻手指,“哪怕只有几微米的形变,反应在将近半米长的光路上,也会被放大几百倍。光斑自然就飘了。”
这番话一出,洁净室里静得落针可闻。
物理定律,是最不讲理的东西。
只要材料遇热膨胀,这个光斑就永远定不住。
在微米级的精度要求前,几微米的机架膨胀就是毁灭性的灾难。
“那咋办?”卢子真疾声追问,“难道咱们得等它开机热身一两个小时,完全胀开了再干活?这要是厂房里温度有个风吹草动,精度又得全废!”
张怀民苦笑着摇头:“这就是西方封锁咱们的底气所在。材料学的底子摆在这里,咱们的合金钢热膨胀系数就是降不下去。这是死局啊。”
老专家的话让大伙心里拔凉拔凉的。
千辛万苦搓出了所有零件,最后让老天爷定的物理定律给卡死了脖子。
眼看着一台国之重器就要变成只能供着的废铁,大家心里的憋屈劲儿别提多难受了。
就在大家唉声叹气的时候。
“谁告诉你们这是死局?”
清冷脆亮的女声在后方响起,响如敲石。
魏云梦穿着无尘服,不知何时已经走到那台长城微机前。
她拉过椅子坐下,双手搭在键盘上。
一串劈里啪啦的键盘敲击声在安静的室内响起。
屏幕上,一行行密集的代码滚滚而下。
“这台光刻机是有大脑的。”魏云梦抬眸,神色平静且自信。
她停下手,顺势从旁边的打印槽里扯出一叠带着油墨香的打印纸。
上面密密麻麻全是手写的算式和打印出来的矩阵代码。
“前阵子,我带着咱们算术小组的一百二十号人,拨断了六十把算盘,摇坏了十几台手摇计算机,你们当我是吃饱了撑的?”
魏云梦拿着纸站起身,走到林振身边。
“我在整机控制系统的底层逻辑里,埋了一个热力学补偿模型。”她把纸递给林振,清冷的声线里透着股傲气,“机器内部布置了三十六个温度传感器。控制程序每隔一百毫秒读取一次温度,通过这套矩阵方程,实时计算出整个金属骨架在XYZ三个轴向上的热形变差值。”
“算出差值后,再反馈给气浮工件台。机身变形了多少,工件台就反向位移多少。”
林振伸手接过打印纸,垂眸扫过上面的矩阵方程,眼底漫开笑意。
这是利用软件算法去弥补硬件材料的短板!
在21世纪是很成熟的光刻机补偿技术,可在现在,能靠算盘硬生生推出这套补偿矩阵,魏云梦的脑子绝对是个宝藏。
“完美。”林振毫不吝啬夸赞,斜睨了小李一眼,“把这组修正代码输入主控系统。”
小李手忙脚乱接过代码纸,一个字符一个字符往里敲。
大伙连大气都不敢喘,一眨不眨盯着那个已经飘出老远的红点。
“回车执行!”
随着敲击声落下,洁净室里传来轻微的嗡嗡声。
两座纯国产的气浮工件台在代码的指挥下,依靠空气轴承,开始了人眼根本察觉不到的微米级平移调整。
显示器上,那个快飘走的红色光斑直接停住脚步。
紧接着,一点一点退了回来!
退得平稳,退得坚决。
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