退火温度曲线：达标。
单看每一项，全部在规格范围之内。
但合在一起，良率只有百分之三十。
问题不在任何一个单独环节。是多个工序之间的微小偏差叠加在一起，产生了系统性的累积误差。光刻偏了零点三纳米，刻蚀又偏了零点二纳米，薄膜厚了零点一纳米——每一个偏差都在容差范围内，但六七道工序叠下来，总偏差就超标了。
周明远试着调参数。
调了第一版，跑了一百片，良率百分之三十四。
调了第二版，良率掉到了百分之二十七——更差了。
调了第三版。百分之三十一。
原地打转。
传统的方法是逐项调参，一次改一个变量，固定其余变量，观察结果。但一百三十七个关键工艺参数相互耦合、彼此牵扯，改了A就影响B，调了B又带歪了C。
这不是人力能穷举的组合空间。
周明远在工艺分析室里拍了桌子。
从认识他到现在，这是周明远第一次失态。桌上的咖啡杯弹起来，棕色的液体泼了一桌子数据表。
消息传到京州市政府的时候是下午四点。
苏哲正在翻明年的预算草案。林锐把周明远的通话记录转述了一遍，末了加了一句：“周总工说他需要时间。”
苏哲没有回应这句话。他拿起手机拨了另一个号码。
陈默接起来的时候，背景里有键盘声——他还在超算中心。
“量产线良率百分之三十，一百三十七个耦合参数，传统调参走不通。”
苏哲把情况用三句话讲完了。
电话那头键盘声停了。
陈默沉默了大概五秒钟，然后只说了三个字：“发数据。”
两小时后，陈默人还在敦煌，但盘古工业大模型的算力已经调了三分之一过来。
量产线的一百三十七个关键工艺参数、三十万组历史测试数据、每一道工序的实时传感信号，全部灌进了模型。
陈默在视频里跟周明远讲了一遍方案。
“盘古会跑一个全参数空间的搜索。不是逐项试，是把一百三十七个参数当成一百三十七维空间里的一个点，在这个空间里找全局最优解。”
周明远听完没说话。
两个小时后，盘古给出了结果。
一套完整的参数组合。一百三十七个数值，精确到小数点后四位。
周明远拿着打印件，一行一行往下看。
看到第二十三行的时候，他的手停住了。
光刻对准偏移量：负一点七纳米。
教科书的推荐值是正零点五纳米，允许范围正负一纳米。盘古给出的数值，偏了百分之四十还多，而且方向是反的。
“这不可能。”周明远的声音很低。
陈默在视频那头调出了盘古的推演日志，一页一页翻给他看。
“京州的洁净室建在南区产业岛上，紧邻海岸线，年平均湿度比内陆同类设施高百分之十二。钴基封装材料的热膨胀系数在高湿环境下会产生非线性偏移。传统参数是在标准环境下标定的，拿到京州来用，本身就带着系统性的偏差。”
陈默把模型的物理解释滚动了一遍，每一步推理都有数据支撑。
“换句话说——教科书才是偏差的来源。”
周明远盯着那个负一点七看了五分钟。
整间工艺分析室静得能听见空调出风口的气流声。
“跑。”
五百片晶圆装载完毕。新参数输入盘古控制系统。全自动流程启动。
周明远没有回宿舍。他在检测室外面搬了把椅子，坐着等。
二十个小时后，最后一片晶圆走完制程。
检测程序启动。
检测室的灯亮了一整夜。
凌晨四点十一分。
小韩双手捧着报告走出来的时候，嘴唇哆嗦得说不利索话。
周明远站起来，一把接过去。
五百片。合格品三百九十片。
良率百分之七十八。
报告纸上的墨还没干透。周明远的拇指在纸面上按了个印子。
他捏着那张纸，转身就往外走。
林锐的车在厂房门口等着。周明远上了车，一句多余的话没说。
到苏哲办公室的时候是早上六点半。苏哲已经在了，衬衫扣子系到最上面一颗，桌上摊着一份凤栖县水务工程的进度报告。
周明远把检测报告递上去。
他的手在抖。
苏哲接过来，低头看了二十秒。视线从第一行数据扫到最后一行，又回到顶部的良率数字。
“继续优化。”
四个字。
周明远愣了一下，然后点了点头，拿着报告走了。
走出市政府大门的时候，天刚蒙蒙亮。周明远在台阶上站了几秒，仰头吸了一口冷空气。
良率百分之七十八的消息被严格封锁在产业岛内部。参与试产的所有人员签署了保密协议，手机在洁净室外统一存放。
三天后，林锐在苏哲的邮箱里发现了一封来自瑞士的函件。
发件方是一家欧洲通信设备制造商的亚太区总部。
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