“所以我们需要合作。”宋颜教授接话道，“红星所有‘掐丝珐琅’电路板的经验，有脉冲电机的控制技术，有正在研发的‘电子耳朵’传感系统。我们也许可以从最简单的开始。”
他提出了两个具体方向：“其一，我们可以共同研制一个简易‘射频辉光放电’实验装置。传统的热壁CVD需要高温，对许多基片材料不友好。射频辉光放电可以在较低温度下实现薄膜沉积，这对未来在硅片上集成多层结构至关重要。”
“其二，我们可以为你们的沉积系统加装自制的、基于‘掐丝珐琅’电路的简易温度-流量程序控制器。不需要一步到位达到国际水平，但至少可以做到：设定一个温度曲线，控制器能自动调节加热功率；设定气体流量比例，能通过步进电机驱动的针阀进行粗调。先把数据记录下来，建立工艺参数与薄膜性能的关联数据库。”
谢凯补充道：“我们还可以设计一套简易的数据采集系统，用‘掐丝珐琅’电路板做信号调理和模数转换，把温度、压力、流量这些关键参数实时记录下来。有了数据，就可以做统计分析，找到影响薄膜质量的关键因子。”
文昭南教授眼睛亮了：“这个思路好！先从‘数据化’开始。我们工业学院在自动控制理论方面有积累，可以负责算法和系统建模。真空所有工艺经验，红星所有工程实现能力，三方合作，正好互补！”
顾赟激动地站起来：“我这就写报告，向所领导申请立项！不，我直接去找所长，今天下午就开协调会！”
这时，吕辰想起一件事：“关于温度控制……我们红星所正在研发‘红外测温’技术，可以非接触式测量物体表面温度，精度很高，响应速度快。”
他顿了顿，语气变得谨慎：“但这项技术，目前还处于保密阶段，主要面向国防和重点工业应用。”
顾赟立刻明白：“我懂。我会以真空所名义，正式向红星所提出技术协作申请，走正规渠道，报上级批准。如果‘红外测温’能用到我们的沉积系统上，实现在线监测基片表面真实温度，那将是革命性的进步！”
会议气氛热烈起来，三方人员围在黑板前，你一言我一语，讨论技术细节、分工方案、时间节点。
吕辰看着这些眼睛发亮的研究人员，心中感慨。
他们此刻讨论的，还只是一些简陋的辅助设备、粗糙的数据采集系统。
但在未来，这些尝试将催生出中国的第一代半导体工艺设备，从手动控制的CVD炉，到半自动的淀积系统，再到完全计算机控制的集群式薄膜生长设备。
从“老师傅的手感”到“工艺规范数据库”，从“观察浮子”到“质量流量控制”，从“估计厚度”到“在线膜厚监测”——这条路漫长而艰难，但今天，就在这间简陋的会议室里，第一步已经迈出。
会议持续到中午。
真空所食堂送来了午饭，高粱米饭、白菜炖豆腐、咸菜疙瘩。
大家就着茶水，一边吃一边继续讨论。
文昭南教授提出了一个想法：“宋教授，对于将工艺‘数据化’，我深表赞同。不过，我们现有的检测手段，无论是干涉法测厚，还是电测法测阻，得到的都是宏观、间接的‘结果’参数，无法反映薄膜生长过程中的微观状态变化。”
“我在想，我们能否设法做一个设备，结合我们真空所对电子束的控制经验，学和微弱信号检测方面的理论优势，共同研制一台，嗯，或许可以叫它‘电子探针表面分析以及北大、清华等学校在电子光仪’的原型机？”
他继续阐述道：“它的目标不一定非要达到原子级别的精度，而是专注于解决我们最头疼的几个问题，一是薄膜表面的真实形貌，是否平整、有无凸起或孔洞；二是微小区域的成分是否均匀，比如是否出现杂质偏聚。哪怕分辨率只能做到亚微米级，并能对几个微米大小的区域进行简单的成分激发和光谱分析，对我们理解工艺、建立‘参数-结构-性能’的关联，就是革命性的进步了。”
文昭南教授建议道：“这个目标，我觉得以‘星河计划’协调的力量，加上电子管厂在电子枪和真空部件制造上的经验，是‘跳一跳可能够得着’的。它既能作为未来更高级电镜的技术预研和人才培养，又能立即服务于我们当前工艺优化的迫切需求。你们看，这个方向是否值得探讨？”
这样一个提议，既解决了对“看见微观世界”的终极需求，又脚踏实地、目标合理。
吕辰内心震动，他语气带着压抑不住的兴奋：“文教授，您这个想法太关键了！一针见血！ 我们刚才一直在讨论如何把‘艺术’变成‘科学’，但所有的‘科学’都必须建立在‘观测’的基础上。如果我们连薄膜表面到底是什么样子都看不清，里面的原子是怎么排列的都不知道，那所有的工艺优化都像是在蒙着眼睛调整一台精密的钟表。”
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