他走到黑板前,在刚才画的晶体管旁边,画出一个简化的SEM原理图,电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室、探测器。
“这不是一个独立的仪器,文教授。这是为我们整个‘星河计划’打造的‘工业眼睛’。光刻需要检查掩模版的缺陷,薄膜沉积需要观察膜层质量和界面,甚至未来检测芯片的失效点,都离不开它。您提议的,正是打通从‘工艺’到‘认知’最关键的一环。”
紧接着,他迅速将宏伟蓝图拉回到现实:“当然,我们不可能一上来就造出这样的电镜。但我们可以定一个清晰的、分阶段的目标,先造一台‘看得见’的机器。分辨率不追求纳米级,先做到亚微米级,能让我们看清薄膜表面的颗粒、裂纹和针孔,这已经比光学显微镜飞跃了一大步。”
宋颜教授也立刻意识到这个提议的极端重要性和可行性,他接过话头:“文教授这个提议,具有重大的战略意义。它不仅仅是真空所的需求,更是‘星河计划’全链条的共性需求。半导体所需要观察硅单晶的缺陷,长光所需要检测光刻镜头的污染和镀膜质量,我们集成电路实验室未来更需要它来分析失效机理。”
他快速勾勒出一个联合攻关的框架:“这件事,必须由‘星河计划’领导小组来牵头协调。清华和北大的电子物理、电子光学教研室有理论基础;长光所有最精密的光-机加工能力,可以负责镜筒和样品台的精密机械部分;真空所有真空系统和电子枪的经验;电子管厂能生产核心的阴极和高压电源;而我们红星所,可以贡献控制电路,以及系统集成的经验。这正是一次完美的‘全国一盘棋’协作。”
他看向顾赟和文昭南:“顾工,文教授,我建议我们今天就把这个设想作为一个正式的合作意向,写入会议纪要。我下午向刘星海教授和‘星河计划’领导小组汇报,申请将它列为紧急预备项目,协调各单位的顶尖力量组成‘电子光学仪器攻关协作组’。我们可以先从一个可行性研究和方案设计开始。”
顾赟当即提出具体启动方案:“好,既然宋教授负责申请项目,那我们这就立刻开始做事,不等全部批复。首先,拜托文教授联系北大和清华,尽快整理一份关于扫描电镜和电子探针的物理原理、核心参数、技术难点的最简报告,特别是电磁透镜的设计公式和像差理论。其次,我立即联系电子管厂,盘点我们现有哪些部件可以直接用或改造。”
他顿了顿:“我看,我们可以把最难的‘高分辨率成像’放一放,先利用电子管厂生产示波管的技术,制造一个简单的次级电子探测器。哪怕最初成像粗糙,只要能证实电子束轰击样品能产生可探测的信号,就是胜利的第一步。”
会议的气氛会从探讨具体工艺合作,瞬间升维到一项激动人心的国家级尖端仪器攻坚战的起点。
文昭南的提议像一颗火种,瞬间点燃了吕辰团队心中早已准备好的干柴。
这让他感到极大的鼓舞和欣慰,因为他发现自己的“远见”不仅被听懂了,更被一个拥有强大执行力和资源协调能力的团队接住了,并且瞬间被赋予了清晰的路径和国家的重量。
临走前,顾赟郑重地将三个木盒交给宋教授:“这是我们所能做出的最好的氮化硅、二氧化硅、金属铝薄膜样品,每种三片。还有我们历年的实验记录摘要副本。请带回红星所,作为合作的基础。”
“我们一定全力以赴。”宋颜教授握着顾赟的手,“回去后,我们立即组织团队,制定详细合作方案。”
“好!我们等你们的好消息!”
走出真空所,已是下午两点多。
冬日的阳光斜照在红砖楼上,给这座沉默的“战斗堡垒”镀上一层金色。
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