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第298章 武水院之强

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珞珈山北麓,东湖之滨,一片错落有致的楼房依山而建。

红砖墙,灰瓦顶,绿树掩映,环境清幽。

校门口悬挂着白底黑字的牌子:“武汉水利电力学院”。

车子驶入校园,虽是冬季,但校园里依然绿意不减。

高大的香樟、女贞树叶色深绿,路边的冬青修剪整齐。

学生们穿着蓝布或绿布棉袄,抱着书本匆匆走过,有的在布告栏前驻足观看。

招待所是一栋三层的红砖楼,条件比他们在西安住的电机厂招待所要好一些。

房间里有暖气片,虽然温度不高,但至少不像外面那么湿冷。

窗户对着东湖,可惜今天阴天,湖面灰蒙蒙的,看不真切。

简单洗漱后,三人下楼,周老师已经在楼下等候。

“座谈会安排在电力楼二楼会议室。”周老师边走边介绍,“除了陈副院长,还有电力系统教研室的刘教授、高电压教研室的王教授、自动控制教研室的李教授参加。他们都是院里相关领域的权威。”

电力楼是一栋四层的苏式建筑,走廊宽敞,水磨石地面光可鉴人。

二楼会议室里,长条会议桌旁已经坐了几个人。

居中是一位六十岁上下、头发花白、戴着黑框眼镜的老者,面容清癯,目光锐利。

他便是陈副院长,我国电力系统稳定与控制领域的奠基人之一。

“欢迎欢迎!”陈副院长站起身,与三人握手,“宋教授,久仰大名。你们在轧钢厂搞的自动化了不起!”

一番寒暄后,众人落座。

会议室里生了炭火盆,温度比外面高不少。

工作人员端上热茶,白瓷杯里茶叶舒展,热气袅袅。

“客套话不多说了,咱们直接进入正题。”陈副院长开门见山,“你们提交的这份技术清单,我们仔细研究了。特别是关于集成电路制造对电力品质的要求,电压稳定性±0.5%、频率稳定性±0.01Hz、谐波畸变率小于3%、瞬间断电切换时间小于10毫秒……这些指标,坦率地说,已经超出了我国目前工业电网的最高标准,甚至比一些重点实验室的要求还要苛刻。”

他顿了顿,目光扫过三人:“我想先听听你们的想法。为什么芯片制造需要这么极致的电力品质?这些要求是怎么得出来的?”

宋颜教授示意吕辰回答。

吕辰清了清嗓子,从随身的公文包里拿出几张图纸。

“陈院长,各位教授,请允许我以最直观的方式说明。”他将图纸摊在桌上。

那是几张手绘的示意图,画着光刻机的曝光过程、薄膜沉积的反应腔、离子注入的束流控制。

“芯片制造的核心,是在硅片上‘雕刻’出纳米级的结构。以光刻为例——”吕辰指着第一张图,“紫外光通过掩模版,在涂有光刻胶的硅片上曝光。曝光时间精确到毫秒级,光强要均匀,任何波动都会导致线宽变化。”

他又指向第二张图:“化学气相沉积,反应气体在高温下分解,在硅片表面生长薄膜。温度控制要精确到±0.1°C,气体流量要稳定。电源的任何波动,都会影响加热器的温度,进而影响薄膜的厚度和均匀性。”

“最敏感的是测量和控制系统。”吕辰翻到第三张图,“扫描电子显微镜的电子束定位精度要达到纳米级,控制信号是微伏级别的。电网中的任何谐波干扰、电压闪变,都会像噪声一样淹没这些微弱信号,导致测量失真、控制失灵。”

他抬起头:“所以,电力对于芯片制造,不是简单的‘能源供应’,而是‘环境参数的基础’。就像盖房子需要平整的地基,芯片制造需要纯净、稳定、可靠的电力环境。没有这个基础,一切精密工艺都无从谈起。”

会议室里安静了几秒钟。

几位教授互相交换着眼神,显然认可了吕辰的说法。

“说得很好。”陈副院长缓缓点头,“从系统需求倒推技术指标,这是工程思维的核心。你们不是盲目追求高标准,而是基于工艺需求提出了明确的技术要求。这比单纯说‘我们要最好的电’要有说服力得多。”

刘教授接口道:“你们提出的这些指标,确实很有挑战性。但并非不可实现。实际上,武水院在电力系统稳定性、电能质量治理方面,已经做了多年研究,有一些技术储备。”

他从文件夹里拿出一份报告:“这是我们‘星河计划’电力组的工作进展,主要围绕三个方向:电压与频率的精密调节技术、谐波抑制与无功补偿技术、瞬间断电的应急保障技术。”

报告很厚,有文字说明,有电路图,有测试数据。

吕辰快速翻阅,心跳不禁加快。

电压与频率调节部分,详细描述了一种基于磁饱和电抗器的快速调压方案,响应时间可达10毫秒,调节精度±0.2%。频率控制则采用飞轮储能与同步电机组合的方案,在电网频率波动时快速注入或吸收功率,将频率偏差控制在±0.005Hz以内。

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