第二日一早,吕辰、宋颜、谢凯三人乘车前往位于杨浦区军工路1146号——上海机床厂。
相比于胶片厂、试剂厂的化学气息,红星轧钢厂出身的三人,更喜欢机床厂区的金属切削液和机油气味。
对他们来说,机床厂排列成行的龙门刨床、立式车床、万能铣床等工业母机,忙碌的工作,各种精密零件,才是熟悉的气息。
递交“星河计划”光刻组精密机械需求清单的过程异常顺利,甚至不能称之为递交,更像是内部的文件流转确认。
“宋教授、吕辰同志、谢凯同志,一路辛苦了!”技术科的孙科长热情地迎上来握手,“刘工从长春打来过电话,说你们这几天到。清单的草案我们早就研究过了,刘工在长光所那边,和我们、哈工大、武水院的专家开了好几次电话会,逐条推敲的。”
会议室里,孙科长将一份装订整齐的技术文件推到三人面前。封面上印着《“星河计划”光刻机精密机械子系统技术要求(V2.3)》的字样,右下角标注着参与单位:长春光机所、哈尔滨工业大学、武汉水利电力学院、上海机床厂、清华大学、红星工业研究所。
“这是根据各方反馈整合后的正式版。”孙科长翻开文件,指着一处用红笔修改的地方,“比如这个‘工作台定位精度±0.1微米’,武水院的专家结合未来洁净厂房微振动控制的数据,建议改为±0.08微米,更符合实际工况。我们和长光所、哈工大论证后采纳了。”
吕辰快速浏览着文件,心中涌起一股暖流。
这不再是他们最初那份略显理想化的清单,而是凝聚了全国多个顶尖单位智慧的、可执行可验证的技术规范。
每一处修改背后,都可能是一次长途电话会议、一叠演算纸、甚至是一轮激烈的技术争论。
宋颜教授感慨道:“孙科长,看到这份文件,我们更深切地感受到‘星河计划’不是一个人在战斗。刘工在长光所一线攻坚,你们在后方夯实基础,哈工大、武水院提供专项支撑……这才是真正的全国一盘棋。”
“一家人不说两家话。”孙科长笑着摆摆手,“刘工是我们厂派出去的骨干,他在长光所代表的不光是光机组,也带着我们机床厂全体技术人员的期望。这份清单上的每一个指标,都关系到未来光刻机能不能造出来、造出来能不能用。我们厂党委专门开了会,把配合‘星河计划’列为头等重要的政治任务和技术攻坚方向。”
接下来的讨论更像是一次项目进度同步会。
孙科长详细介绍了机床厂目前的准备情况:“气浮导轨的原理样机已经完成,用的是你们红星所提供的‘掐丝珐琅’电路板做控制,目前静态悬浮稳定性达到设计要求的70%。问题出在动态响应上,快速运动时气膜厚度波动太大,导致定位抖动。”
“激光干涉测量系统,我们和上海光学仪器厂联合攻关,氦氖激光器的稳定性基本解决,但干涉信号在车间环境下的抗干扰能力还不足,特别是大型设备启停时的电网扰动。”
“最难的还是那个‘压电陶瓷微动台’。压电陶瓷材料国内能小批量做,但性能离散度大,迟滞和非线性严重。我们正在和硅酸盐研究所合作,尝试改进配方和极化工艺……”
吕辰认真地听着,不时在笔记本上记录。
他注意到,孙科长提到的每一个技术难点,几乎都能在清单草案的备注栏里找到对应的风险提示,那是刘工和各位专家提前预判到的“深水区”。
“孙科长,关于压电陶瓷的非线性补偿,”吕辰抬起头,“我们集成电路实验室的诸葛彪同志,最近在研究一种基于查找表的自适应补偿算法模型。虽然是为晶体管特性补偿设计的,但思想是相通的。如果需要,我们可以把初步思路和数学模型分享过来。”
孙科长眼睛一亮:“太好了!我们正缺这方面的理论支持。压电陶瓷的位移和电压关系不是简单的线性,每次运动轨迹不同,迟滞曲线都略有差异。如果能建立实时补偿模型,精度至少能提升一个数量级!”
讨论持续了两个多小时。
没有客套,没有保留,有的只是技术人员之间最直接的碰撞与对接。
谢凯的笔记密密麻麻记了十几页,不仅包括技术要点,还标注了各单位对接人、下一步协同节点、需要红星所协调的资源清单。
离开时,孙科长一直将三人送到厂门口:“清单正式收讫,所有技术要求我们确认无误。请转告刘星海教授和‘星河计划’领导小组,上海机床厂保证完成任务!明年一季度,气浮导轨和激光干涉测量系统的工程样机一定拿出来!”
上午的对接顺利得让人振奋。
三人走在黄埔江边,这座城市,既有外滩的百年风华,也有漕河泾、杨树浦的工业脉搏;既有岳阳路的学术静谧,也有南京路的市井繁华。
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