下午,吕辰来到红星研究所。
刚走进主楼,就看见宋颜教授从楼梯上下来。
“吕辰,来得正好。”宋颜教授道,“刘教授在会议室,正要给我们集成攻坚小组开会。”
“好,我马上过去。”吕辰点头。
他快步上到二楼,推开会议室的门,里面已经坐了十来个人,都是核心骨干,刘星海教授坐在主位,宋颜教授随后进来在他旁边坐下,谢凯、钱兰、诸葛彪、吴国华等人都在。
“吕辰来了,坐。”刘星海教授指了指空着的一个位置。
吕辰在吴国华旁边坐下,后者冲他点点头,小声说:“调研的事。”
刘星海教授见人齐了,清了清嗓子,开始讲话:“同志们,今天把大家召集来,是要安排下一阶段星河计划的工作。”
他拿起一份文件:“年前,宋颜、谢凯、吕辰三位进行了第一次全国调研,初步摸清了国内在光学、材料、机械、化学等领域的底子。那次调研,我们确定了星河计划的基本技术路线,也发现了不少问题和短板。”
刘星海教授顿了顿,目光扫过在座的每一个人:“现在,我们要开展第二次、更深度的调研。这次调研的主要目的,是根据年前的调研结果,进一步补全集成电路的产业链,实现星河计划从材料、设备、工艺到测试、封装,形成闭环。同时,为一些技术短板寻找航天、军工、计量等领域的尖端技术替代。”
会议室里一片肃静,只有笔尖在纸上记录的沙沙声。
刘星海教授打开投影仪,一张复杂的流程图出现在幕布上。
那是集成电路产业链的全景图,从上游的材料、化学品,到中游的设备制造、工艺开发,再到下游的测试、封装、应用,密密麻麻,环环相扣。
“大家看,”刘星海教授用教鞭指着幕布,“这是理论组根据国际资料和我们自己的研究,绘制出的集成电路产业链图。我们年前已经解决了光刻机、材料提纯、化学工艺等几个关键节点的技术路线问题。但现在,我们要面对的是整个产业链的贯通。”
他顿了顿,继续说:“集成电路不是一台光刻机就能造出来的。它需要高纯度的硅材料,需要电子级的化学品,需要精密的加工设备,需要严格的测试手段,需要可靠的封装技术……缺了任何一环,都造不出合格的芯片。”
刘星海教授切换了一张幻灯片:“根据年前的调研,我们有几个明显的短板。”
幻灯片上列出了七个方面的内容。
“第一,材料与化学品提纯。我们现在能提纯6N级别的硅,但还不够。光刻胶、显影液、蚀刻液这些化学品,国内几乎没有电子级的生产能力。”
“第二,精密机械与设备制造。光刻机的工作台、镜筒、对准系统,都需要微米级甚至亚微米级的加工精度。国内机床厂能达到这个水平的,寥寥无几。”
“第三,电子元器件与封装。芯片做出来,怎么封装?怎么测试?怎么保证可靠性?这一块我们几乎是空白。”
“第四,测试与计量。芯片的性能参数怎么测?测试设备哪里来?计量标准怎么建立?”
“第五,特殊工艺与跨界技术。真空镀膜、离子注入、高温扩散……这些工艺,国内有些单位在研究,但离产业化还很远。”
“第六,系统集成与软硬件协同。芯片设计出来,怎么验证?怎么做成产品?这需要软件、硬件、系统全方位的配合。”
“第七,基础设施。芯片制造需要超净车间,需要恒温恒湿的环境,需要稳定的电力供应。这些基础设施,我们现在有条件建吗?”
一连串的问题抛出来,会议室里气氛凝重。
刘星海教授继续道:“所以,这次调研,就是要针对这七个短板,寻找解决方案。我们要走出去,到全国的科研单位、工厂企业去,看看哪些技术可以借鉴,哪些工艺可以改进,哪些设备可以研制。”
“这次调研,我们分七个方向同步进行。”
他详细讲解了每个方向的调研内容。
材料与化学品提纯方面,要去天津化工厂调研电子级酸碱、溶剂提纯工艺,解决光刻胶配套化学品纯度问题;到甘肃金川镍钴基地,考察稀有金属(镍、钴)提纯工艺,用于金属布线材料;到四川攀枝花钒钛基地,调研钛白粉等材料,用于掩模版或光学涂层。
精密机械与设备制造方面,要到沈阳和大连的机床厂,调研高精度机床加工能力,为光刻机工作台、镜筒等精密部件制造打基础;到洛阳轴承研究所,考察高精度轴承技术,用于光刻机旋转台、传送机构;到苏州晶体元件厂,调研石英晶体切割、抛光工艺,用于光刻机透镜、窗口片,承接西军电和红星所的研究生产。
电子元器件与封装方面,要去南京772厂调研真空封装、管壳制造工艺,为芯片封装积累经验;到成电(成都电讯工程学院)微波实验室考察高频电路、微波传输技术,为未来射频芯片打基础;到宝鸡有色金属加工厂调研柯伐合金等封装材料,解决芯片封装热匹配问题。
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