5微米，均匀性±0.1微米。
这个精度要求，已经非常接近集成电路制造中对金属布线层的要求了，这个实验室在薄膜沉积和精密控制方面，有独特的积累。
“周工，”吕辰身体前倾，认真地问，“这个反射面板，你们已经做出来了吗？”
“做出了三批试样。”周工从抽屉里拿出一个木盒，打开盒盖。
盒内衬着红色的绒布，上面放着三块巴掌大小的金属板。
板面呈浅金色，光洁如镜，能清晰地映出人的倒影。
吕辰戴上白手套，小心地取出一块，对着光观察。
板面极其平整，几乎看不到任何起伏，他用指甲轻轻划过边缘，感受表面的光滑度。
“能看看你们的工艺吗？”他问。
“当然。”周工站起身，“走，去镀膜车间。”
一行人下楼，穿过厂区，来到镀膜车间，车间里很干净，水泥地面拖得发亮，空气中有一股淡淡的臭氧味。
正中央是一个银白色的圆柱形设备，大约两米高，直径一米五，表面布满了各种接口、观察窗和仪表。
“这就是我们自行设计的真空镀膜机。”周工拍拍金属外壳，“核心部件是这台电子枪，从民主德国进口的，能产生高能电子束，轰击金靶材，使其蒸发，沉积在基片表面。”
他指着设备侧面一个透明的观察窗：“基片放在这个行星旋转夹具上，公转加自转，保证镀层均匀。整个腔体能抽到10^-4帕的真空度，避免空气分子干扰镀膜过程。”
胡教授补充道：“最难的不是把金镀上去，而是镀得均匀。卫星天线是抛物面，不同位置的曲率不同，离蒸发源的距离不同，镀层容易厚薄不均。我们研究了大半年，试了二十多种旋转轨迹，才找到最优的那一组参数。”
“控制部分呢？”吴国华问，“如何实时监测膜厚？”
周工走到旁边的控制台前，那是一个用旧课桌改造的操作台，上面密密麻麻布满了旋钮、开关、仪表，还有两个圆形的示波器屏幕。
“我们自己搭了一套光学干涉膜厚监测系统。”他指着其中一个示波器，屏幕上是一条起伏的曲线，“用一束氦氖激光打在基片上，测量反射光的干涉条纹变化。每镀一层，干涉条纹就会移动一个周期，我们计数周期数，就能反推出膜厚，精度能达到纳米级。”
钱兰凑近仔细观察：“这套系统，对环境的震动、温度波动敏感吗？”
“非常敏感。”周工苦笑，“所以我们给整个控制台做了隔震基础，下面铺了橡胶垫和弹簧。车间空调是二十四小时恒温恒湿，温度控制在22±0.5摄氏度，湿度50%±5%。就这，有时候外面过重型卡车，或者刮大风，数据还会跳。”
这套系统的原理是先进的，但实现方式还很土法，依赖手工调试和经验。
不过，这正是中国工业当下的真实写照，用有限的资源，做无限接近极限的事。
“周工，”吕辰问，“如果我们要镀的不是抛物面，而是平面的硅片，尺寸更大，比如直径150毫米，均匀性要求±0.05微米，能做到吗？”
周工和胡教授对视一眼。
“理论上可以，”胡教授谨慎地说，“但需要重新设计夹具和旋转轨迹，优化蒸发源的分布。最关键的是，监测系统要升级。现在的系统是单点测量，如果要保证整片硅片的均匀性，可能需要多点测量，甚至扫描测量。”
“而且真空腔体要扩大。”周工补充，“150毫米的硅片，加上夹具和旋转空间，现有的腔体装不下。要重新设计制造，这需要时间和经费。”
吕辰点点头，他理解这种制约，但更看到了可能性。
这个实验室已经掌握了微米级薄膜沉积的核心技术，缺的是系统化和工程化。
随后，在周工和胡教授的带领下，他们又参观了有色金属厂自行研制的亚微米级定位工作台，台面下有一套液压伺服系统，能实现X、Y、Z三轴运动，定位精度理论值0.1微米。但受限于电机与模拟控制，精度还差点意思，周工表示，如果用上红星所的脉冲电机和数字控制系统，性能至少能提升一个数量级。
最后，他们来到材料提纯车间，参观真空感应熔炼炉。
这是提炼超高纯稀有金属的设备，主要产品是钽、铌、钨等用于电子管和特种合金。
纯度99.9%的粗金属，通过真空熔炼，挥发掉低沸点杂质，再经过区域熔炼，进一步提纯，最高能做到99.999%的纯度。
纯度检测是取样做光谱分析，通过设备只能测到四个九，更高的纯度主要凭经验，看熔炼时金属液面的光泽，看凝固后的晶粒大小和颜色来分辨。
吕辰认为，如果能把兰州大学的放射性同位素示踪技术用在这里，就能直观地看到杂质在熔炼过程中是如何分布、如何被去除的，从而优化工艺参数，把经验变成科学。
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