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第86章 “野路子”正名

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“星火”研究室的小会议室里,气氛紧张,黑板上画满了密密麻麻的电路图和工艺流程图。

秦念、李文军、张海洋三人正为如何进一步提高“土法光刻”的图形均匀性和分辨率绞尽脑汁。

现有的土法光刻胶涂布不均匀,紫外灯照射也存在边缘效应,导致芯片中心区域和边缘区域的线条宽度不一致,严重影响了良品率和性能一致性。

“要是能有台匀胶机就好了……”张海洋看着显微镜下边缘模糊的线条,唉声叹气。

“还有均匀平行的紫外光源……”李文军补充道,眉头拧成了疙瘩。

秦念没有说话,手指无意识地敲打着桌面。她昨晚刚翻完父亲寄来的那本《半导体物理基础》,里面关于光学干涉和衍射的章节,以及一些傅里叶分析的数学工具描述,让她脑中灵光不断闪现。

她拿起粉笔,在黑板上空着的地方画了几个简单波浪线,试图用最朴素的语言解释一个优化思路:“匀胶机和理想光源我们现在肯定没有。但是,我们或许可以换个‘感觉’。”

她指着那几条波:“你们看,我们现在的涂胶,就像这波浪,高低不平。曝光的光,也是有的地方强,有的地方弱。所以出来的图形自然不均匀。”

李文军和张海洋茫然点头,这现象他们都知道。

“那我们能不能想办法,让胶‘感觉’起来更平一点?让光‘感觉’起来更匀一点?”秦念努力将脑中那个用傅里叶变换分析光强分布、进而通过调整基片旋转速度曲线和光源距离/角度来补偿不均匀性的复杂概念,翻译成他们能理解的“直觉”,

“比如说,我们在涂胶的时候,不要傻傻地用一个速度转,一开始快一点,中间慢一点,最后再快一点?让胶水靠不同的‘甩劲儿’自己找平?

曝光的时候,光源不要正对着,稍微斜一点点,或者让样品台微微晃动,让光线‘溜达’着照,是不是就能把太强的地方平均一点给弱的地方?”

她的话听起来依旧充满了“土味儿”和“感觉”,但内在却隐隐指向了一种基于光学原理和信号处理的补偿算法雏形!

就在这时,会议室门被推开了。古板的张工程师拿着个笔记本,探头进来,表情一如既往的严肃:“赵组长让我来了解一下你们小批量生产工艺的标准化进展……你们这是在讨论什么?”

他的目光扫过黑板,先是看到那些电路图,微微点头,但当他看到秦念画的那几条波浪线和旁边那些“快一点慢一点”、“斜一点晃一点”的注释时,花白的眉毛立刻拧了起来,脸上露出了“果然还是野路子”的不赞同表情。

李文军连忙起身打招呼,简单解释了一下他们遇到的均匀性问题。

张工扶了扶眼镜,语气带着教训的意味:“工艺参数的优化,需要严谨的实验设计和数据分析,不能靠‘感觉’、‘快慢一点’这种模糊的……嗯?”

他的话语突然顿住了!眼睛猛地瞪大,死死盯住秦念画的那几条波,以及她旁边无意识写下的几个用于形容“波动”的数学符号(ω,t)。

他像是被钉在了原地,眉头紧锁,仿佛在极力捕捉一个一闪而过的、惊人的念头。

会议室里瞬间安静下来,只剩下他略显粗重的呼吸声。

几秒钟的死寂后,张工猛地倒抽一口冷气!

“等等!秦工!”他声音陡然拔高,带着难以置信的尖锐,一个箭步冲到黑板前,几乎是抢过秦念手中的粉笔,声音因激动而颤抖,

“你刚才说的‘感觉’……那种不同转速对应不同甩劲……那种让光‘溜达’着照的均匀感……它……它是不是可以……可以用这个来描述?!”

他手腕剧烈抖动,粉笔在黑板上飞速划过,发出刺耳的吱嘎声!一个个复杂的积分符号、傅里叶变换公式、光强分布函数被迅速推导出来!

会议室里鸦雀无声,只有粉笔敲击黑板的哒哒声和张工越来越急促、激动的呼吸声。

他写了一半,忽然顿住了。眼睛猛地瞪大,死死盯着自己刚写下的那个积分符号,又猛地扭头看向秦念,眼镜片后的眼睛充满了难以置信的惊骇!

他的思维仿佛终于贯通了那个模糊的灵感,将其牢牢抓住并赋予了精确的数学形态。

“积分…分布函数…等等!秦工!你刚才说的那个‘感觉’!它、它是不是就是……就是在追求一个在特定区域内的光照度积分值趋向于常数?!

你描述的那种‘像水波一样铺开’的效果,其背后的数学本质,是不是可以近似用……用经过傅里叶变换后的频域均匀性来理解?!”

他像是发现了新大陆,激动得声音都变了调,不等秦念回答,就疯狂地在黑板上演算起来!一个个数学符号和公式流淌出来,严谨、精确,完美地将秦念那模糊的“感觉”翻译成了冰冷的数理语言!

最后,他指着黑板上一串推导结果,手指都在颤抖:“看!看这里!如果基于这个模型反推,只需要一个结构相对简单的漫射板,结合我们现有的紫外光源,理论上就能大幅改善曝光均匀性!

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